Das neue Ionenstrahllithografie-System im Center for Soft Nanoscience der Universität Münster.
Die Erforschung und Entwicklung von Nanosystemen, also Strukturen, die tausendmal kleiner als der Durchmesser eines Haares sind - daran arbeiten Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler aus unterschiedlichen Disziplinen gemeinsam an der Westfälischen Wilhelms-Universität Münster (WWU). Für ihre Forschung steht ihnen jetzt ein spezielles Arbeitsgerät zur Verfügung: das Ionenstrahllithografie-System „VELION“, das von der Deutschen Forschungsgemeinschaft und dem Land Nordrhein-Westfalen mit 840.000 Euro gefördert wird. Die Wissenschaftler profitieren dabei von einer Kooperation mit der Dortmunder Firma Raith, die das Instrument entwickelt und hergestellt hat, und deren Mitarbeiter nun mit den WWU-Forschern am weiteren Ausbau des Systems arbeiten.
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